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第630章 造不如买（第1页）

既然猜到了曲慧极有可能是在双工件台技术上取得了突破，苏远山接下来可就真有点坐不住了

但他太了解曲慧了

这姐妹儿，干练豪爽不说，还古灵精怪……既然打定主意要给自己兜圈子，那自己怎么问都是没个结果的

好在一小时并不长，当他打开一篇最新的石墨烯领域的paper后，时间便迅速流逝起来

嗯，主要是他现在难得遇到一篇不灌水的石墨烯论文

……

一小时后，曲慧与郑振川如约而至

“郑叔，慧姐，好久不见。”苏远山早已在客座沙发旁等着，就连茶都已经准备好了

“嗯，是有不少时间了。”曲慧出乎意料地留了头发，还梳了个马尾，脖子上围着丝巾。她笑呵呵地坐到苏远山对面

“这下可以说了吧，到底是什么惊喜——别让我猜啊。”

“其实就是工件台成了。”曲慧一副云淡风轻的表情，端起茶杯吹了口气后笑眯眯地道：“你猜到了是吧？”

“你和郑叔一起过来，不是光刻机的事还能是啥？”苏远山一摊手，笑道：“让我干等了一个小时，再惊的喜也给整没了。”

“害！我就应该给周小慧偷偷打个电话问一下的——对了，周小慧呢？”

“不知道，估计是在天驹那边吧。今天德仪那边刚好有人过来，她去接待一下。”苏远山顿了顿，望向郑振川：“郑叔，别告诉我，你们已经将工件台用在光刻机上了。”

“哈哈，当然没有。”

郑振川放下茶杯，冲苏远山乐道：“你先听小曲的，等会我再说。”

“嗯……”苏远山听到郑振川这语气，顿时心中多了几分“警惕”起来

这老爷子，语气听起来不对呐！

感情这次不是单纯的“报喜”，似乎还有套等着自己

不过他依旧不动声色，整个人放松了姿势：“曲慧姐，你说，工件台到底怎么样了。”

“成了，但有点麻烦。”曲慧知道苏远山对光刻机倾注的心血不比晶圆厂少，此刻也不开玩笑，正色了起来：“你知道的，制约国产光刻机精度的最大敌人就是精度。”

苏远山点头：“嗯，不用你说，我就算再不懂机械也知道。”

“精度的最大问题又会最终落在电机控制，材料，加工精度上。”曲慧抿着嘴，慢慢道

“双工件台的构想是根据华罗庚先生的统筹方法思想而来，原理就是把在曝光过程中处于等待状态下的流程先走一步。实现一个工件台曝光，一边进行测量对准等工作。等到曝光完毕，就可以不用再测量对准，从而直接就可以移动平台，然后曝光。”

“根据我们的估计，在目前的工艺水平下，采用双工件台除了可以提高30%以上的效率之外，还可以略微提高精度——别的不说，10%起码有的。”

苏远山再次点头：“然后呢？”

“我们这次取得的突破，是在运动定位模块和流程控制系统上。”

苏远山听得眉毛一扬！

他哪怕对双工件台的设计和原理再不懂，他也知道，实现双工件台最困难的地方便是运动定位系统，是真正的“牵一发动全身”“差之毫厘，谬之千里”

而且苏远山还知道，ASML的初代双工件台，其实效率并不十分高，只能说略有提升——就是因为控制系统不成熟。不然也不会直到浸没式光刻机出来之后才正式宣判尼康和佳能死刑

双工件台技术真正的成熟，还必须等到磁悬浮技术诞生。只有那样，才能把误差缩短到极限

但一切的前提还是控制系统

那么……既然都已经取得突破了，还有什么麻烦？

“那麻烦在哪？”

“麻烦在于，我们目前只能实现0.5微米的精度。”曲慧紧缩着眉，凝望着苏远山道：“而且，精度越高，摩擦系数和阻尼作用就越强。我有点担心，它在未来能不能追上光刻机的步伐。”

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